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Description
高耐热系列光阻是具有优异的耐热性能的光刻胶,其具有热稳定性强、工艺窗口大等优点,且在Hard Bake条件下,Half-tone具有优异的均一性和Profile角度,适用于采用Hard Bake工艺的Array制程的所有层。
4-MASK系列光阻的特点在于具有范围较大的half-tone工艺窗口,其具有half-tone 3σ 特性好,Hard Bake Skip条件下耐湿刻性能好的优点,适用于H/B Skip条件下采用4-MASK工艺的Array制程中的所有层。
Characteristics
Properties
@2.2um |
Normal PR |
High Themal 4-Mask PR |
H/T Profile |
~ 20° |
40~45° |
Thermal |
120℃ |
140℃ |